工作原理
等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
产品特点
触摸屏操作界面
数字及图标多重工艺参数实时显示
三色灯异常报警功能
自动/手动操作模式切换
可存储多套工艺配方
远程操控，数据导出（可选）
特殊电极、气路设计，均匀性好
平板式、滚轮式载具平台（可选）
适用半导体封装引线框架的批量处理
应用领域
适合于半导体行业的表面处理
适用于制作车间、生产线等多个场合
多料盒的模式，能够高效的处理材料
产品参数
型号 | VPC-500F | ||
控制系统 | 控制方式 | 全自动控制（自动/手动切换） | |
PLC（标配）/PC（可选） | |||
操作系统 | Windows 10 | ||
触摸屏 | 7寸 | ||
整机规格 | 尺寸 | W920×D1030×H1720mm | |
腔体 | 尺寸 | W435×D425×H540mm | |
材质 | 铝合金（标配）/不锈钢（可选） | ||
电极 | 结构 | 组合柜式 | |
分隔数量 | 4个料盒 | ||
托架 | 材质 | 铝合金（标配）/不锈钢（可选） | |
形状 | 平板式/滚轮式（可选） | ||
真空计 | 皮拉尼式真空计 | 1个 | |
流量计 | MFC质量流量控制器 | 2个；Ar、N2、H2（可选） | |
真空泵 | 机械油式旋片泵 | 1套 | |
发生器 | 中频/射频 | 40KHz，0~1000W | 13.56MHz，0~500W |
额定功率 | 整机峰值功率 | 5KW | |
机台供电 | 三相五线式 | AC-380V | |
选购品 | 干式泵、双级旋片真空泵+罗茨泵（泵组）、托架、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、非标法兰、陶瓷紧固件 | ||
