等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
触摸屏操作界面
数字及图标多重工艺参数实时显示
三色灯异常报警功能
自动/手动操作模式切换
可存储多套工艺配方
远程操控，数据导出（可选）
模块多样化选择，多层托架可选，处理量大
v不分处理对象的基材类型，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理。
型号 | PM-110L | PR-110L | |
控制系统 | 控制方式 | 全自动控制（自动/手动切换） | |
PLC（标配）/PC（可选） | |||
操作系统 | Windows 10 | ||
触摸屏 | 7寸 | ||
整机规格 | 尺寸 | W1000×D1200×H1700mm | |
腔体 | 尺寸 | W500×D500×H450mm | |
材质 | 铝合金（标配）/不锈钢（可选） | ||
电极 | 尺寸 | W490×D417mm | |
层数 | 1-8层，可选 | ||
托架 | 材质 | 铝合金（标配）/不锈钢（可选） | |
层数 | 1层 | ||
真空计 | 皮拉尼式真空计 | 1个 | |
流量计 | MFC质量流量控制器 | 2个；Ar、N2、O2（可选） | |
真空泵 | 机械油式旋片泵 | 1套 | |
发生器 | 中频/射频 | 40KHz，0~1000W | 13.56MHz，0~1000W |
额定功率 | 整机峰值功率 | 5KW | |
机台供电 | 三相五线式 | AC-380V | |
选购品 | 干式泵、气浴电极（打孔）、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件 | ||
