在AI芯片封装过程中的作用:在AI芯片的封装过程中,非接触除尘设备能够清除封装后产生的异物,确保芯片的清洁度和质量。这些设备还可以内置于FAB设备中,辅助搬运机器人传递晶圆,确保生产过程中的卫生和洁净度。
在半导体生产过程中的应用:在半导体生产过程中,非接触除尘设备用于对晶圆表面进行无损伤清洗,去除制造、晶圆制造和封装测试过程中可能产生的杂质,避免杂质影响芯片良率和性能。这些设备贯穿整个半导体生产过程,包括硅片制造、晶圆制造和芯片封装阶段。
在其他制造领域的应用:非接触式除尘系统广泛应用于各种生产制造场景,如PCB切割和钻孔加工后的清洁、木地板打磨和切割、汽车零部件加工等。它能够清除加工过程中产生的碎屑和灰尘,确保生产环境的清洁。
工作原理:非接触式除尘系统通过以下步骤实现除尘效果:
静电消除:在清洁头前端装有去除静电装置,首先去除材料表面的静电。
高频震荡:清洁头两侧为吸气,中间吹气,通过系统发出强烈的气流,在材料表面产生高频短波震荡,使灰尘和杂质松动。
真空吸力:除尘头两侧的真空吸力将松动的灰尘和杂质吸入除尘头,从而达到除尘的效果。
技术参数和性能特点:
旋转速度可调:喷嘴可以以每分钟600~3000转以上的速度高速旋转,形成斜向下吹除的带脉冲的强力气流。
喷头数量和角度可调:用户可以根据需要调整喷头的数量和角度,以适应不同的清洁需求。
耗气量低:系统设计使得耗气量低,运行成本较低。
使用寿命长:高质量的材料和精密的设计使得设备的使用寿命较长。