等离子清洗对材料的影响主要取决于材料的类型和使用的清洗工艺。在某些情况下，等离子清洗可能会对材料的物理性能产生影响，具体如下：

1. 表面形貌变化：等离子清洗过程中，材料表面可能会发生一定变化，尤其是对表面敏感的材料，可能会产生微观的粗糙度变化。

2. 表面化学组成：等离子清洗会改变材料表面的化学成分和结构。工艺过程中使用的气体种类（例如氧气、氮气、氩气等）会导致表面形成特定的化学基团，这些基团会影响材料表面的润湿性、粘附性等。

3. 机械强度：一般来说，等离子清洗不会显著影响材料的体积机械强度，但在某些特定条件下，剧烈的等离子处理可能会引起表面微裂纹，从而影响表面的机械强度。

4. 电学特性：对于某些敏感的材料，例如半导体材料，等离子清洗可能会对表面的电学特性产生影响，比如表面电荷分布、导电性等。

5. 热效应：虽然等离子清洗通常在较低温度下进行，但在某些情况下，尤其是大功率等离子源的应用，可能会产生一定的热量，对材料产生热影响。

为了最大限度地减少对于材料物理性能的不利影响，通常需要根据具体的材料性质和应用要求，优化等离子清洗的参数（例如时间、功率、气体种类和流量、处理环境等），并在使用前进行充分的测试和验证。