等离子体处理指示卡是一种用于检测等离子清洗机处理效果的工具，通过检测等离子体中的活性粒子（如自由基、离子）来产生颜色变化，从而直观地评价等离子体处理效果。其工作原理基于等离子体中的活性粒子与指示卡表面的特定材料发生化学反应，导致颜色变化。不同类型的等离子体处理指示卡适用于不同的应用场景和设备。
类型和适用场景
等离子体处理指示卡根据使用环境和变色灵敏度的不同，分为以下几种类型：
A型：适用于O₂、N₂、Air、CF4、NH3、Ar等自由基性等离子体的检测，常用于接合线、覆晶线等接合处的表面改性、封装前清洗和电镀前表面改质等。
B型：适用于大气等离子表面处理，分为高敏度和低敏感度两种，主要用于印刷电路板制造、FPD制造和膜加工等大面积处理。
C型：变色部分为无机材料，基材为PI材质，适用于高温环境，可自由贴附于基板表面或设备内部。
D型：主要用于检测均匀性，提高面内均一性检测效率。
E型：晶圆专用，旨在提高良品率，目前正在研发中。
等离子体处理指示卡具有以下显著优势：
经济高效：避免了使用昂贵仪器和复杂测试流程，普通工作人员只需通过简单目视观察即可初步判断处理效果，降低了检测成本和时间成本。
质量监控：能够快速识别处理过程中的异常情况，及时调整处理参数，确保产品质量的稳定性和一致性。
适应性强：产品质地柔软，可轻松贴附于各种形状复杂的基板表面或设备内部，适应不同的生产场景需求。
使用方法和优势
使用等离子体处理指示卡非常简便。首先将指示卡放置在等离子体处理区域的预定位置，进行等离子体处理后，取下指示卡并观察其颜色的变化。通过颜色变化可以直观地判断等离子体处理效果。此外，还可以使用色差仪对变色区进行测定，将色度做数据化处理，以便更精确地调整处理参数。
