通过各种等离子体处理使本产品变色区产生颜色变化,在想要确认等离子体处理效果的部位设置该指示卡,可以不利用电、光学测量装置的情况下确认等离子体处理效果。

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A型共3个型号:A1型(高敏感度)、A2型(中敏感度)、A3型(低敏感度)

【反应原理】

本产品的变色区印刷的色素与各种等离子体反应,根据处理时间、功率、工艺气体种类和气体流量等参数的不同会产生不同程度的颜色变化。

是指使用了根据等离子体中的活性种(自由基、离子)变色的功能性色料的评价工具。根据等离子体的强度会产生不同的颜色变化,可以很直观的对等离子体处理效果进行细致的评价。

【使用方法】

1.将本产品从包装袋中取出,尽量避免触摸变色区,因为变色区不耐擦伤,否则会影响变色效果,每次取完指示卡后随即将铝箔袋封好,以免剩余指示卡受到环境影响;

2.安装指示卡时,请根据需要使用指示卡自带背胶或其他夹具固定;

3.等离子体处理完成后从装置中取出指示卡时,请勿触摸变色区,以免在确认指示卡颜色变化程度时受到影响;

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【储存方法】

1.本产品应避免阳光直射,在高温潮湿的场所应以未开封或密封再包装的状态下保存;

2.请于强酸、强碱、氧化、还原剂和其他反应性物质隔离保管。

根据目的和用途的不同配置相应型号的指示卡:

真空等离子体处理系统用高温、低温不同敏感度的产品;

大气等离子体处理系统用不同速度、不同敏感度的产品;

针对晶圆等离子体处理用的“晶圆型”产品。