在射频等离子清洗机当中核心部件就是射频电源和匹配器，如果在使用过程中遇到电源启动正常而腔体不放电的情况，那么大概率就是因为其中的匹配器工作不正常，那么匹配器到底出了什么问题呢？今天就让我们来告诉大家。
1、匹配器故障说明
①空气电容损坏
空气电容在运行过程中摩擦产生导电杂质，造成局部短路；摩擦导致动片轴损坏，无法正常调节。
②进口晶体管故障
与空气电容动片轴损坏有关，空气电容无法正常工作，射频输出阻抗无法调节，导致晶体管击穿；在使用过程中，匹配器初始值调节不当，匹配时间过长或真空腔体内辉光放电不稳定也会造成晶体管损坏。
2、匹配器日常使用注意事项
①定期对真空腔体内的插针公母头进行检查，防止有严重氧化及断裂现象。
②确认电极板摆放正确，无顺序错误；在使用过程中如需调节极板数量及间距，必须确认匹配器自动匹配状态，如匹配时间较长，则需调节初始值。
③定期确认匹配器的初始值，长时间使用可能会出现初始值偏移的状况，需要定期确认并根据实际情况调整。
④如出现初始值严重偏移，则需确认匹配器内部和空气电容叶片是否错位及是否有打火现象，如出现此类情况，需及时处理。空气电容的固定叶片及动片在调到最大时是基本重合的；如出现打火现象，确认叶片有无烧坏，如烧坏可将烧坏位置打磨后再使用，叶片之间的距离太近也会出现打火现象。
⑤如出现电容无法调节的情况，可打开匹配器，手动控制调节电容，确认叶片电容能否正常旋转。需留意电机与空气电容的传动部分是否有无法转动的情况，出现卡死需及时报修，如出现齿轮与轴之间打滑，可先自行处理。
3、其他事项
①匹配器是可长时间运行工作的，平时需注意观察及清洁。定期对匹配内部空气电容区域进行检查，打开盖板查看是否有空气电容摩擦产生的杂质沉积，如有则需用无尘布+酒精的方法清洁，因杂质通常为导电物质不可用气吹，以免出现打火及控制部分短路。
②当匹配器出现无法正常工作时，需及时确认电极板摆放、插针公母头、屏弊盒内连接（是否有接触不良或导电片与外壁接触和距离过近）、匹配器初始值、内部是否清洁、空气电容是否错位和打火、空气电容能否转动（是否有打滑）、传动电机是否能够工作、RF电源是否有输出以及各连接段是否短路等情况。如匹配器内有烧焦的味道和以上问题无法解决，请及时与专业人员联系。
③匹配器内部配件的使用周期是无法具体确认的，这与使用环境、处理产品、使用是否得当等均有关系，主要原因可能是匹配器内杂质造成了短路或打火。
以上就是当射频电源匹配器出现故障时，该如何进行排查问题的介绍，以及一些日常的维护方法，在射频等离子清洗机出现问题时我们首先需要做的是冷静下来问题出现在何处，再逐步解决问题，通过这些希望能对大家有所帮助。
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