表面等离子处理通过等离子体对材料进行处理,设备产生的等离子体与待处理材料表面发生化学、物理等多种变化,表面能、亲水性、粘接力等特性都发生改变,那么表面等离子处理的具体步骤如何?
1. 设备真空状态:通过真空泵将处理室内空气抽离,达到真空状态;
2. 等离子体产生:通入工艺气体,维持低压状态,等离子发生器产生电场,电离工艺气体生产等离子体。
3. 等离子体处理:待处理的材料置于等离子体环境中,等离子体与材料表面发生各种反应。
4. 处理完成:恢复处理室内气压,打开处理室仓门,取出产品,进入后续工艺处理。
表面等离子处理设备构成:
1. 等离子发生器:产生等离子体的装置,通常使用高频电场或直流电场来产生等离子体。
2. 处理室:用于放置待处理的材料,在等离子体的环境中进行表面处理。
3. 气体供应系统:提供等离子体处理过程中所需的气体,如氮气、氧气、氢气等。
4. 控制系统:控制等离子体产生器、等离子体处理室和气体供应系统的运行,以实现精确的表面处理。
表面等离子处理工艺在医疗、汽车、航空航天、高分子材料、芯片制造等等领域中广泛使用,设备根据使用环境、处理材料、应用参数的变化进行制作,解决不同类型的表面处理难题。