等离子表面清洗设备是用于材料表面处理的一种设备，通过等离子体的反应来处理各类材料的应用难题，如：解决污染物、氧化层、残胶等问题，改善表面性能、提高材料亲水性、湿润性、粘接性等。
等离子表面清洗设备的参数包括：
1. 清洗方式：包括干式清洗和湿式清洗两种方式。
2. 气体种类：清洗时使用的气体种类，如氧气、氮气等。
3. 清洗室尺寸：设备清洗室的尺寸，通常会根据清洗对象的大小来确定。
4. 清洗速度：清洗过程中的速度，通常会影响到清洗效果和清洗时间。
5. 等离子体功率：产生等离子体所需的功率大小，通常会影响到清洗效果。
6. 清洗时间：清洗一次所需的时间，可通过控制系统进行设置。
7. 清洗温度：清洗过程中的温度，通常会影响到清洗效果。
8. 等离子体密度：产生等离子体时，等离子体的密度大小。
9. 设备尺寸和重量：设备自身的尺寸和重量，通常会决定设备的可移动性和使用场所。
等离子表面清洗设备广泛应用于半导体、光学仪器、医疗器械、汽车零件、涂层、高分子材料等领域中，相比传统化学药剂处理，等离子清洗设备更加高效、环保，同时减少了对环境的污染。
