低温等离子清洗机在电子元件领域当中，通常使用的是低温等离子清洗机的清洗、活化和蚀刻技术。在低温等离子清洗机的处理过程中，低压通电的反应腔会将气体分子分解或分解成化学活性成分，而后气体分子与基底的固体表面发生反应，并产生挥发性物质，处理结束后会通过真空泵抽出。
其中在低温等离子清洗机应用于电子元件领域当中，蚀刻技术经常地被使用到，其中有四种材料常常需要进行蚀刻：硅、电介质、金属和光刻胶。
这些材料每种的化学性质都不同，但等离子体蚀刻是一种各向异性蚀刻工艺，可以保证蚀刻图案、特定材料的选择性和蚀刻效果的均匀性，即使是在不同材料上，也能够做到各种材料对于蚀刻效果的要求。其中在等离子体蚀刻中，基于等离子体作用的物理蚀刻和基于活性基团的化学蚀刻都会发生。
低温等离子清洗机现如今广泛应用微电子领域，它是一种进行等离子表面处理的理想设备。在微电子包装的生产过程中，由于各种指纹、焊剂会形成各种表面污染，包括有机物质、环氧树脂等。在这些物质的影响下会对生产过程和最后的产品质量产生重大影响。而低温等离子清洗机的使用可以很容易地通过清洗表面的污染物，确保原子和原子之间的紧密接触，从而有效地提高粘附强度，在需要进行这类处理时常使用的等离子体清洗气体有氩、氧、氢四氟化碳及其混合气体。
借助低温等离子清洗机，可以确保有效提高导线键的强度，提高芯片粘接质量，提升产品的成品率和可靠性。并且有利于激活材料的等离子体表面，利于粘结、涂层和印刷，例如在在手机盖板、手机玻璃、钢化膜等之前进行等离子清洗处理，可快速提高产品表面的清洁度，显著提高表面活性，从而增强附着力。
