等离子清洗机是指真空反应腔室里面低于标准大气压的气体状态，微观上来讲就是腔体内的气体分子密度小于大气压的分子密度，不同的真空状态意味着不同的分子密度。
压力单位反应真空压力值的大小，由于历史和习惯的原因，不同的国家和地区使用的单位有所区别。
国内外品牌等离子清洗机比较常见的真空压力单位有3个，即帕斯卡（Pa）、托（Torr）、巴（bar），其中后面两个单位欧美系的品牌比较常见。
2-1 帕斯卡（Pa），简写帕，国际单位制，我国法定压力单位，是为纪念法国物理学家与数学家帕斯卡而命名。
换算关系如下：
1 帕（Pa）= 7.5×10-3托（Torr）=10-2毫巴（mbar）
2-2 托（Torr），1Torr即1mmHg。Torr 参照国际单位制（简称SI）制订的中华人民共和国法定计量单位规定压强单位为Pa(帕），两种单位之间换算关系为1托=133.322帕。
换算关系如下：
1托（Torr）=133.322帕（Pa）=1.33322毫巴（mbar）
2-3 巴（bar），非法定计量单位，即1平方厘米的面积上受到100万达因作用力，压强就是1巴，合100000帕。
换算关系如下：
1毫巴（mbar）=7.5×10-1托（Torr）=102帕（Pa）
真空度反应的是真空状态空间气体的稀薄程度，通常用气体压力值来来表示。真空度越高，压力值越小；真空度越低，压力值越大。
