等离子清洗机是一种干式清洗，与传统的湿式清洗不同，等离子清洗机可以有效的去除基地表面残留的有机小分子以及油污。
一般的油脂污染主要是碳基化合物，等离子体中高能态原子团自由基易与化合物分子结合形成新的不稳定的自由基，新生成的自由基进一步分解，在生成小分子的同时产生新的自由基，该过程持续进行，油脂污染物中的碳氢化合物被这些活性氧原子所氧化，产生二氧化碳和水,从而实现油脂污染物的去除。
等离子清洗机表面改性、刻蚀活化设备广泛应用于等离子表面活化清洗，等离子处理后粘结，等离子刻蚀活化，离子去胶，等离子涂覆，增强粘结等，通过等离子处理，可提高材料表面的浸润性，使多种材料都能进行涂覆、刻蚀、印刷等操作，增强粘结强度，同时去除有机污染物、油污或油脂。
根据多年的经验表明不能用等离子清洗机清除很厚的油垢,虽然用等离子体清洗少量附着在物体表面的油垢有很好的效果.但对厚油垢的清除效果往往不佳。
一方面用它清除厚油膜,必须延长处理时间,使清洗的成本大大提高。另一方面有可能是它在与厚油垢相互接触的过程中,引发了油污分子结构中的不饱合键发生了聚合、偶联等复杂反应而形成较坚硬的树脂化立体网状结构有关。一旦形成这类树脂膜它将很难被清除.因此通常只用等离子体清洗厚度在几个微米以下的油污。
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