压缩气体是等离子清洗机部分器件的动力源,同时也是工艺气体来源。在等离子清洗机的使用中压缩气体都是有最低气体压力要求的,气体压力的调整可以通过调压阀等器件实现。其中的气压显示系统可以实现气体压力的可视化和低压报警。

气体压力可视化的方式比较多,最常见的就是在气路或气路的元器件上加装减压表,等离子清洗机的气路压力显示就是用这种方式实现。通常压力表是安装在调压阀的预留孔上,其优点是在调节气压时可直接观察到实时压力。

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除加装压力表外,还可以通过加装压力传感器来实现气压可视化,但压力传感器通常还需配备显示模块或控制模块。其优点是可直接实现在等离子清洗机操作界面上实时显示气体压力,但会增加编程的复杂性,同时成本相对较高,所以除有特殊要求外,很少被应用。

而对于等离子清洗机,只实现气体压力的可视化是完全不够的,为了保证设备的正常运行及工艺参数的稳定,气体压力必须控制在设计范围内。因在等离子清洗机气路中都会安装调压阀、节流阀等,输入到后段的气体最高气压已经被限制,所以通常可以忽略高压监控报警,只进行低压报警保护。

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其中等离子清洗机的低压报警通常由两种方式实现,分别为使用带信号输出的压力表及膜片式压力开关。等离子清洗机所使用的带信号输出的压力表分为指针式和数显式两种,这两种在实际使用中都有被应用。

带信号输出的指针式压力表是机械结构,不易受高频干扰,被广泛应用。当实时气压高于报警指示时,指示灯不亮且无报警信号输出;当实时气压低于报警指示时,指示灯点亮,同时内部线路切换实现报警信号输出。

等离子清洗机所用的数显压力表是电子式数显压力开关,可实现气压的实时数字显示及低压报警输出。实时压力及设定的最低气压均是以数字的形式显示,可视化效果更强,可有效避免误读。

数显压力表还可以通过安装支架,更加方便地安装在设备的机柜上,相对于指针式压力表,使用的灵活性更高。这种压力表的缺点是其利用传感器及模拟电路实现压力显示,在等离子清洗中如使用不当可能存在高频信号干扰的问题。

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数显式压力表的应用膜片式压力开关目前已经很少被使用,现主要应用于部分大气等离子清洗机中。

另外膜片式压力开关也是一种纯机械式结构,不会受高频干扰,且压力可根据实际需求进行调节,当气体压力达到设定值时内部常开触点闭合。可利用常开触点实现设备保护及报警输出,在实际应用中通常是将常开触点串联在大气等离子清洗机的启动信号线上,避免在等离子发生器气压和气流不足时启动而造成损坏。

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